清代沿袭明制，置一级地方*区名为省，省分府、州、厅，府、州、厅辖县。山东以嘉庆朝区划为据，全省下辖登州府(治蓬莱)、莱州府(治掖县)、青州府(治益都)、武定府(治惠民)、济南府(治济南)、东昌府(治聊城)、泰安府(治泰安)、沂州府(治临沂)、兖州府(治滋阳)、曹州府(治菏泽)。另有济宁、临清二直隶州，加上光绪三十一年分莱州府胶州[散州]、高密县、即墨县置胶州直隶州，是为山东十府三州。
至年民国初建，区划沿袭清朝旧制，年(民国二年)，北京*府废除清朝的府、州，但留用清末道制，设省、道、县三级。山东由原“济东泰武临道”、“兖沂曹济道”、“登莱青胶道”三道，改为岱北道(治历城县)、岱南道(治滋阳县)、济西道(治聊城县)、胶东道(治福山县)等四道，共辖县。年(民国三年)，内务部奉袁世凯申令，公布各省、道区域名称，将岱北道改为济南道、岱南道改为济宁道、济西道改为东临道，胶东道依旧。年废道，改置省、县两级制。
年，时值新中国初建，山东省人民*府改变年以来日伪*府、国民**权、共产*三方力量控制下的建制混杂，设昌潍、滕县、临沂、泰安、沂水、德州、惠民、胶州、莱阳、文登、淄博(年改为淄博工矿区，年改为淄博地级市)11个专区和济南、青岛、烟台、徐州4市。年，平原省撤，所属聊城、菏泽2专区划入山东省，徐州市划出山东入江苏省，至此山东地级行*区划基本框架搭建完成。
年，撤沂水专区，绝大部分区域划归临沂专区。年，撤文登专区，辖县划归莱阳专区；撤德州专区，辖县划归聊城、惠民2专区；撤胶州专区，辖县划归昌潍、莱阳、临沂3专区，2年后原胶州大部分区域改划归青岛市。年，撤泰安专区，辖县划归聊城专区和济南市；撤菏泽专区，辖县划归济宁专区；撤烟台地级市，划入莱阳专区并更名烟台专区；撤淄博地级市，划入惠民专区并更名淄博专区。
年，复设菏泽专区。年，复设泰安、德州专区；复设淄博地级市，淄博专区其余部分复设惠民专区；新设枣庄地级市。
年，滨州地区东营升级为地级市。年，烟台所辖威海升级为地级市。年，临沂地区日照升级为地级市。年，泰安所辖莱芜升级为地级市。
年，莱芜地级市撤销，并入济南市。